AI、新能源汽车、5G通信的普及，推动了中国半导体行业的迅速发展。

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WSTS数据显示，中国半导体产业从2015年的986亿美元增长至2021年的1,925亿美元，复合增长率11.80%。

不过，中国大陆半导体制造产业的技术水平仍有提升空间，中高端芯片无法满足国内需求。在市场、政策双重驱动下，中国半导体产业朝着更高技术水平迈进。

针对发展势头日臻强盛的中国半导体市场，比利时化工巨头索尔维早已枕戈待旦。日前，在上海新国际博览中心举行的上海国际半导体展览会（SEMICON CHINA 2023），索尔维携带一系列技术先进的特种聚合物和化学品亮相现场。

"索尔维深知中国半导体业务的重要性，我们已开展了多项关键投资，从而更好地支持我们的客户在这蓬勃发展的市场中实现业务增长。" 索尔维材料事业部高级执行副总裁Andrew Lau表示。

提供适配中国半导体行业的材料方案

索尔维电子与工业市场大中华地区销售总监张骏对新材料在线®表示，当前的中国半导体产业，在更加先进的半导体制程和新兴的应用场景的驱动下，对半导体材料的纯净度、耐高低温、耐半离子体、力学性能要求正逐步升级。

索尔维凭借多年来在特种聚合物领域的先进经验，推出全系列高性能聚合物产品，成为半导体制造的优秀材料解决方案。张骏表示，索尔维特种聚合物是一类具有超高性能的特种材料，可用于具有严苛要求的应用，半导体工业就是其中的一个典型应用领域。

半导体制造步骤繁琐，且工况环境复杂，对耗材、设备部件关键材料提出了稳定性、耐腐蚀性、耐高温性、安全性、环保性等要求。

“索尔维的半导体解决方案涵盖前端(FEOL)与后端(BEOL)半导体制造、测试与组装各个阶段的全系列特种聚合物与化学品。” 张骏说道。

如半导体制造设备中，索尔维推出超纯水管道系统用材料Solef® PVDF，其机械性能、拉伸模量更高，具有业内领先的纯度和出色的长期稳定性。“一些Fab厂装载了Solef® PVDF，已经运行了超过30年。它的可靠性和稳定性已经被业界广泛证明。”

同样在SEMICON CHINA亮相的Halar® ECTFE不仅是应用于湿法加工设备的结构件材料，也是排气管道涂层材料和湿法加工用化学品输送系统材料。这一系列材料具有良好的化学抵抗性，在半导体化学品环境下，浸出离子水平极低，并具有优异的防火性。

在SEMICON CHINA 2023亮相的还有用于O型圈和密封件的首选弹性体材料Tecnoflon® FFKM，以及化学机械研磨（CMP）工艺用材料KetaSpire® PEEK、Torlon® PAI等。

此外，张骏特别提到，KetaSpire® PEEK是基于索尔维特有的塑胶粒子技术和在中国的应用开发能力而开发出的配方，该产品是利用欧洲和美国的技术，专为中国市场开发的产品。

据了解，为了迎合中国半导体市场的发展，日前索尔维在上海设立了全新材料应用研发中心（ADL），配备多样化的资源，可配合客户开发不同的解决方案，快速响应市场需求。“比如ADL配备了非常大的净化室，可以对聚合物材料在半导体应用的实际状况进行模拟和分析，能在应用端和高分子聚合物端架构起很好的桥梁。” 张骏说道。

除了ADL的落成，索尔维还在常熟建立了工厂，并在国内多地部署了供应基地，从而更高效地响应客户的需求。

张骏表示，从新材料的研发到终端客户应用，索尔维都将密切跟进，打通中间环节的技术难点，为客户提供完整的解决方案，不仅供应材料，更是全套解决方案的提供商。“索尔维也将继续进行产品的创新，在中国的工厂和研发中心上加大投资。”

助力半导体行业减碳

半导体制造是大量耗费水电、碳排放量较高的产业。数据显示，2020年半导体行业的二氧化碳排放量为41Mt，2030年半导体行业的二氧化碳排放量将达到86 Mt。

业界人士认为，如果半导体制造企业不积极采取符合全球温控1.5摄氏度要求的气候行动，到2030年，全球半导体行业碳排放将较2021年暴增138%。如果积极采取减排措施，则全球半导体行业将在2026年实现碳达峰，至2030年排放缩减58%左右。

在半导体行业，如何减少温室气体排放以及化学品污染及相应的清洗，积极实践节能减碳是一个的严峻问题。

“作为化工企业，索尔维保持着高度的社会责任感，重视碳排放和可持续发展问题。” Andrew Lau对新材料在线®表示。

据了解，索尔维通过自身的项目正在计划减少煤炭、石油、天然气等不可再生能源的使用，转而采用可再生能源；另外，产品重点聚焦对可持续发展影响最大的领域，以此促进可持续发展的实践。

针对半导体行业的可持续发展需求，索尔维凭借广泛的产品组合，持续推进在可持续材料解决方案的研发，帮助客户实现碳减排目标。

其新产品的开发主要围绕“高性能”和“绿色环保”两个关键词展开。

一方面，为满足先进芯片制程对材料的性能要求，索尔维通过设计、优化聚合物产品结构，开发更纯净、耐化耐腐蚀、耐高低温、耐等离子体的高性能树脂、橡胶和流体产品；另一方面，通过技术创新积极发展绿色制造，开发绿色产品，节能环保，降低碳排放，减少有害的氟表面活性剂的使用，提供可持续发展的材料解决方案。

以Solef® PVDF为例，该材料含氟聚合物具有稳定性以及防火和抗氧化性，不需要添加剂、填料、染料或可滤出的阻燃剂，能抵抗腐蚀性强的化学物质而不会降解。有效为可持续发展提供助力。

“在未来，索尔维将继续重视可持续发展，并将它视为解决方案的重要组成部分。可持续发展将继续作为索尔维半导体业务的重要一环，推动我们不断前行，在为半导体行业提供所需高性能的同时最大限度地减少碳足迹。” Andrew Lau说道。来源：新材料在线